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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02310945(A)
申请公布日期
1990.12.26
申请号
JP19890131332
申请日期
1989.05.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIBATA MANABU
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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