| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING FLOW RATE OF LEAKING GAS OF PROCESS GAS SUPPLYING SYSTEM FOR CHEMICAL EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02310439(A) |
申请公布日期 |
1990.12.26 |
| 申请号 |
JP19890133216 |
申请日期 |
1989.05.26 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
SHINOKI TOSHIO;SASAKI AKIRA;MATSUMOTO SHUICHI |
| 分类号 |
G01M3/28;G01M3/02;G01M3/04;G01M3/20 |
主分类号 |
G01M3/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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