| 发明名称 |
METHOD FOR GROWING CRYSTAL OF EPITAXIAL LAYER ON SEED CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02311393(A) |
申请公布日期 |
1990.12.26 |
| 申请号 |
JP19890133255 |
申请日期 |
1989.05.26 |
| 申请人 |
STANLEY ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SANO MICHIHIRO;KATO HIROYUKI;OKUNO YASUO |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B29/48;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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