| 发明名称 |
REMOVAL APPARATUS OF ORGANIC FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02310923(A) |
申请公布日期 |
1990.12.26 |
| 申请号 |
JP19890133922 |
申请日期 |
1989.05.25 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NOMURA TORU;AOKI TADASHI;KODAMA HIROTATSU;KITAMURA NORIHISA |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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