发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02310946(A) 申请公布日期 1990.12.26
申请号 JP19890131327 申请日期 1989.05.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHINTANI YOSHIO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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