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发明名称 APPARATUS FOR FORMING SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02310915(A) 申请公布日期 1990.12.26
申请号 JP19890131980 申请日期 1989.05.25
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA TAKESHI;SUGIURA HIDEO;IGA RYUZO
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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