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发明名称
MANUFACTURE OF INVERTED STAGGER-TYPE THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号
JPH02310932(A)
申请公布日期
1990.12.26
申请号
JP19890132271
申请日期
1989.05.25
申请人
NEC CORP
发明人
KANEKO WAKAHIKO
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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