| 发明名称 |
METHOD FOR DETECTING TREATING TEMPERATURE IN PLASMA TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02310373(A) |
申请公布日期 |
1990.12.26 |
| 申请号 |
JP19890130429 |
申请日期 |
1989.05.24 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
OKABE SHUICHI |
| 分类号 |
C23C8/36;C23C14/54;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C8/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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