发明名称 PRODUCTION OF THIN-FILM SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02310362(A) 申请公布日期 1990.12.26
申请号 JP19890130874 申请日期 1989.05.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIKURA KUMIKO;ICHIKAWA HIROSHI;YOSHIDA MASARU;ADACHI HIDEAKI;WASA KIYOTAKA
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/06;C23C28/04;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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