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发明名称 MICRO-BELLOWS AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02309061(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 JP19890128837 申请日期 1989.05.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAJIWARA RYOICHI;KATO MITSUO;WACHI HIROSHI;FUNAMOTO TAKAO;SHIDA TOMOHIKO
分类号 F16J3/04;H01L23/473 主分类号 F16J3/04
代理机构 代理人
主权项
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