发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH02309662(A) |
申请公布日期 |
1990.12.25 |
申请号 |
JP19890130194 |
申请日期 |
1989.05.25 |
申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIMODA KOICHI;KURODA SHUNICHI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|