发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02309663(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 JP19890130193 申请日期 1989.05.25
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINOHARA MAMORU
分类号 H01L27/06;H01L21/8249 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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