发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02309645(A) 申请公布日期 1990.12.25
申请号 JP19890130572 申请日期 1989.05.24
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 TAKADA RYOJI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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