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发明名称 METHOD OF FORMING MATCHING MARKS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 SU1552940(A1) 申请公布日期 1990.12.23
申请号 SU19884428366 申请日期 1988.05.23
申请人 BARGIJ I.P.,SU;DZYAN A.S.,SU;MATSKEVICH V.M.,SU 发明人 BARGIJ I.P.,SU;DZYAN A.S.,SU;MATSKEVICH V.M.,SU
分类号 H01L21/312;G03F9/00 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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