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发明名称 DEVICE FOR PROBING MICROCIRCUITS IN DOT-SCREEN ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 SU1615822(A1) 申请公布日期 1990.12.23
申请号 SU19884415790 申请日期 1988.04.26
申请人 SUMSKOE PROIZV OB "ELEKTRON" 发明人 FEKLISTOV ALEKSANDR I,SU;VEPRIK VIKTOR G,SU;SHESTAKOV YURIJ V,SU;NIKIFOROV ALEKSANDR I,SU
分类号 H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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