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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02308542(A) 申请公布日期 1990.12.21
申请号 JP19890129794 申请日期 1989.05.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAKI SHUNICHI;IMAOKA KAZUNORI
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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