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发明名称 ECR PLASMA APPARATUS AND THIN FILM FORMING SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH02308536(A) 申请公布日期 1990.12.21
申请号 JP19890129551 申请日期 1989.05.23
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI;GOCHO TETSUO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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