发明名称 FJERNELSE AF OVERFLADEFORURENENDE STOFFER VED BESTRAALING FRA EN HOEJENERGIKILDE
摘要
申请公布号 DK303490(D0) 申请公布日期 1990.12.21
申请号 DK19900003034 申请日期 1990.12.21
申请人 ENGELSBERG, AUDREY C. 发明人 ENGELSBERG, AUDREY C.
分类号 H01L21/302;B08B7/00;B23K26/14;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):B08B7/04;B08B5/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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