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发明名称
LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号
JPH02307889(A)
申请公布日期
1990.12.21
申请号
JP19890126780
申请日期
1989.05.22
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
HANEKI YOSHIAKI
分类号
C30B19/00;H01L21/208
主分类号
C30B19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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