发明名称 LIQUID PHASE EPITAXY
摘要
申请公布号 JPH02307889(A) 申请公布日期 1990.12.21
申请号 JP19890126780 申请日期 1989.05.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 HANEKI YOSHIAKI
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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