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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02308524(A) 申请公布日期 1990.12.21
申请号 JP19890129885 申请日期 1989.05.23
申请人 SONY CORP 发明人 HAMASHIMA TOSHIKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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