MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE,申请号JP19890128854-传众专利搜索

发明名称	MOLECULAR BEAM EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02307893(A)	申请公布日期	1990.12.21
申请号	JP19890128854	申请日期	1989.05.24
申请人	HITACHI LTD	发明人	TAKAHASHI NUSHITO;UEDA SHINJIRO;TAMURA NAOYUKI;TAKAHASHI SUSUMU
分类号	C30B23/08;H01L21/203	主分类号	C30B23/08
代理机构		代理人
主权项
地址