| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (1) zur Beschichtung von Substraten (9) durch photolytischen Spaltung oder Zersetzung des Beschichtungswerkstoffs. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung (1) zur Beschichtung zu schaffen, bei der die Nachteile der bekannten Vorrichtungen ausgeschlossen sind. Dies wird durch eine Vorrichtung ermöglicht, die durch einen Reaktorbehälter (2) gebildet wird, in dem die UV-Strahlungsquelle (3) und das zu beschichtende Substrat (9) gemeinsam angeordnet sind. <IMAGE></p> |
