发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02305486(A) 申请公布日期 1990.12.19
申请号 JP19890127087 申请日期 1989.05.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YURI MASAAKI;HIROSE MASANORI;OTA KAZUNARI
分类号 H01S5/00 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
地址