| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02306179(A) |
申请公布日期 |
1990.12.19 |
| 申请号 |
JP19890125583 |
申请日期 |
1989.05.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAITO TADAHIRO;TOMITA MASAYOSHI;KOSUGI NOBORU;HASEGAWA SEIICHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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