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经营范围
发明名称
MAGNETRON TYPE SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02305961(A)
申请公布日期
1990.12.19
申请号
JP19890127145
申请日期
1989.05.19
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIRATA KATSUHIRO
分类号
C23C14/35;H01L21/285
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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