| 发明名称 |
MEJORAS EN UN APARATO PARA DEPOSITAR REVESTIMIENTOS DE VARIAS CAPAS SOBRE UN SUBSTRATO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
MX161722(A) |
申请公布日期 |
1990.12.19 |
| 申请号 |
MX19840203596 |
申请日期 |
1984.12.05 |
| 申请人 |
PILKINGTON BROTHERS, P.L.C. |
发明人 |
JOSE MANUEL GALLEGO |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):B05C1/00;B05D5/12;H01M2/32 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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