Device and procedure to measure at a distance the thickness of a layer of a non-conducting material and application of the device to measure metallic objects with a layer of such material.

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungslosen Messung der Schichtdicke d eines nichtleitenden Materials (2), welches auf einem Trägermaterial (1) angeordnet ist, mit einem Sensor (3). Um zu erreichen, daß einerseits die Genauigkeit der Schichtdickenmessung weitgehend unabhängig von der jeweiligen Position des Sensors (3) ist daß und andererseits die Nachteile von Ultraschallmeßgeräten bzw. von Verfahren, die ionisierende Strahlen verwenden, nicht auftreten, wird vorgeschlagen, daß der Sensor (3) zwei Abstandssensoren (31, 32; 33) enthält. Dabei mißt der erste Abstandssensor (31, 32) Signale, die charakteristisch sind für den Abstand a1 zwischen Sensor (3) und der dem Sensor (3) zugewandten Oberfläche der nichtleitenden Schicht (2). Der zweite Abstandssensor (33) mißt hingegen Signale, die charakteristisch sind für den Abstand a2 zwischen dem Sensor (3) und der dem Sensor (3) zugewandten Oberfläche des Trägermaterials (1). Die Schichtdicke d ergibt sich dann aus der Beziehung d = a2 - a1. Als erster Sensor (31, 32) wird vorteilhafterweise ein optischer und als zweiter Sensor (33) ein Wirbelstromsensor verwendet, wobei es sich bei Verwendung des Wirbelstromsensors bei dem Trägermaterial (1) um ein elektrisch leitendes Material handeln muß.