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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0261316(B2)
申请公布日期
1990.12.19
申请号
JP19850152785
申请日期
1985.07.10
申请人
SUMITOMO SPEC METALS
发明人
YOSHIHARA TAKESHI;NISHIURA SATOSHI
分类号
B07C5/16;B07B7/01;B07C5/36;H01L21/66;H05K13/02
主分类号
B07C5/16
代理机构
代理人
主权项
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