发明名称
摘要
申请公布号 JPH0261316(B2) 申请公布日期 1990.12.19
申请号 JP19850152785 申请日期 1985.07.10
申请人 SUMITOMO SPEC METALS 发明人 YOSHIHARA TAKESHI;NISHIURA SATOSHI
分类号 B07C5/16;B07B7/01;B07C5/36;H01L21/66;H05K13/02 主分类号 B07C5/16
代理机构 代理人
主权项
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