| 发明名称 |
Wafer holding fixture for chemical reaction processes in rapid thermal processing equipment and method for making same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4978567(A) |
申请公布日期 |
1990.12.18 |
| 申请号 |
US19880175707 |
申请日期 |
1988.03.31 |
| 申请人 |
MATERIALS TECHNOLOGY CORPORATION, SUBSIDIARY OF THE CARBON/GRAPHITE GROUP, INC. |
发明人 |
MILLER, MICHAEL B. |
| 分类号 |
H01L21/683;C23C14/50;C23C16/01;C23C16/04;C23C16/32;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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