| 发明名称 |
PROBE FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02304368(A) |
申请公布日期 |
1990.12.18 |
| 申请号 |
JP19890124318 |
申请日期 |
1989.05.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMAZAKI MATSUO;WATANABE KIKUO;TAKAHASHI MASAHIRO;IMAI KUNINORI;SHISHIUCHI KAZUO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/06;G01R1/067;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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