发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02304929(A) 申请公布日期 1990.12.18
申请号 JP19890125825 申请日期 1989.05.19
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MURAKAMI HIROAKI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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