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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02304915(A) 申请公布日期 1990.12.18
申请号 JP19890124201 申请日期 1989.05.19
申请人 NEC CORP 发明人 HIURA YUKO
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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