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发明名称 LOW TEMPERATURE PROBER
摘要
申请公布号 JPH02304315(A) 申请公布日期 1990.12.18
申请号 JP19890124212 申请日期 1989.05.19
申请人 NEC CORP 发明人 MURASHIMA SUSUMU
分类号 G01J1/00;G01J5/00;H01L21/66 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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