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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02304953(A) 申请公布日期 1990.12.18
申请号 JP19890124240 申请日期 1989.05.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUCHIYA KENJI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/417;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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