| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02303030(A) |
申请公布日期 |
1990.12.17 |
| 申请号 |
JP19890121512 |
申请日期 |
1989.05.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
USHIYAMA MASAHIRO;OJI YUZURU;NISHIOKA TAIJO;OYU SHIZUNORI;KASHU NOBUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L21/316;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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