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发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02303023(A) 申请公布日期 1990.12.17
申请号 JP19890123865 申请日期 1989.05.17
申请人 SANTETSUKU SYST:KK 发明人 AKIMOTO SEIJI;SEKINOBE MASAAKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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