发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02303154(A) 申请公布日期 1990.12.17
申请号 JP19890125259 申请日期 1989.05.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA SHUNJI
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/329;H01L21/336;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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