AIR TENSION DEVICE,申请号JP19890125008-传众专利搜索

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发明名称	AIR TENSION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02303040(A)	申请公布日期	1990.12.17
申请号	JP19890125008	申请日期	1989.05.17
申请人	NEC CORP	发明人	MATSUMOTO ITARU
分类号	H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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