| 发明名称 |
METHOD OF SUPPORTING AND/OR CONVEYING A PLATE WITH FLUID WITHOUT PHYSICAL CONTACT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR900009005(B1) |
申请公布日期 |
1990.12.17 |
| 申请号 |
KR19860003372 |
申请日期 |
1986.04.30 |
| 申请人 |
SEIBU GIKEN CO.,LTD.;KUMA TOSIMI |
发明人 |
KUMA TOSIMI |
| 分类号 |
B65G47/91;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):B65G47/91;B25J15/06 |
主分类号 |
B65G47/91 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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