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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02301948(A) 申请公布日期 1990.12.14
申请号 JP19890123387 申请日期 1989.05.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUBO TOSHIRO;SATO YUJI;KASHIWAKURA YUTAKA
分类号 H01J37/20;H01J37/04;H01J37/141;H01J37/21;H01L21/027 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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