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发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTIVE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02302322(A) 申请公布日期 1990.12.14
申请号 JP19890120409 申请日期 1989.05.16
申请人 HOKKO CHEM IND CO LTD;TORAY IND INC 发明人 KITAZAWA KOICHI;NONAKA TOSHINAKA;KOBAYASHI KEISUKE;KANEKO MASAYOSHI;TAKAHASHI YASUTAKA
分类号 C01G29/00;C01G1/00;C23C18/12;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01G29/00
代理机构 代理人
主权项
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