FORMATION OF INTERLAYER INSULATING FILM,申请号JP19890121492-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号	JPH02302038(A)	申请公布日期	1990.12.14
申请号	JP19890121492	申请日期	1989.05.17
申请人	FUJITSU LTD	发明人	UOOCHI YASUO;TABUCHI AKIRA
分类号	H01L21/3205;H01L21/768	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
主权项
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