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发明名称 ETCHING OF ALUMINUM ALLOY
摘要
申请公布号 JPH02302035(A) 申请公布日期 1990.12.14
申请号 JP19890121391 申请日期 1989.05.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 DOMAE SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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