| 发明名称 |
FORMATION OF THICK FILM OF OXIDE SUPERCONDUCTOR AND EQUIPMENT THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02302305(A) |
申请公布日期 |
1990.12.14 |
| 申请号 |
JP19890120408 |
申请日期 |
1989.05.16 |
| 申请人 |
ULVAC CORP;SHINKU YAKIN KK |
发明人 |
HATANAKA HIROSAKU;KAIDO MAKOTO |
| 分类号 |
C04B41/87;C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
