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发明名称
摘要
申请公布号 JPH02146831(U) 申请公布日期 1990.12.13
申请号 JP19890054330U 申请日期 1989.05.11
申请人 发明人
分类号 F26B21/14;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B21/14
代理机构 代理人
主权项
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