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发明名称
THERMISCHES AUSGLUEHEN INTEGRIERTER SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号
DE3580417(D1)
申请公布日期
1990.12.13
申请号
DE19853580417
申请日期
1985.06.24
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
WEINBERG, ZEEV AVRAHAM, WHITE PLAINS NEW YORK 10601, US;YOUNG, DONALD REEDER, OSSINING NEW YORK 10562, US
分类号
H01L21/316;H01L21/268;H01L21/28;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/268
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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