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发明名称 DETEKTORANORDNUNG MIT EINEM DETEKTOROBJEKTIV FUER KORPUSKULARSTRAHLGERAETE.
摘要
申请公布号 DE3766092(D1) 申请公布日期 1990.12.13
申请号 DE19873766092 申请日期 1987.11.23
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH, 8011 HEIMSTETTEN, DE 发明人 FEUERBAUM, DR. ING., HANS-PETER, D-8000 MUENCHEN 83, DE;FROSIEN, DR. ING., JUERGEN, D-8012 OTTOBRUNN, DE
分类号 H01J37/10;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/10 主分类号 H01J37/10
代理机构 代理人
主权项
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