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发明名称
摘要
申请公布号
FR2094616(A5)
申请公布日期
1972.02.04
申请号
FR19700023817
申请日期
1970.06.26
申请人
CEA
发明人
分类号
H01L21/00;H01L31/117;(IPC1-7):H01L15/00;H01L7/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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