VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ELEKTROSTATISCHEN AUFSPRUEHEN EINER FLUESSIGKEITSSCHICHT AUF EIN SUBSTRAT UND ZUM TROCKNEN DER FLUESSIGKEITSSCHICHT AUF DEM SUBSTRAT,申请号DE19893918559-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ELEKTROSTATISCHEN AUFSPRUEHEN EINER FLUESSIGKEITSSCHICHT AUF EIN SUBSTRAT UND ZUM TROCKNEN DER FLUESSIGKEITSSCHICHT AUF DEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号	DE3918559(A1)	申请公布日期	1990.12.13
申请号	DE19893918559	申请日期	1989.06.07
申请人	HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE	发明人	NIES, REINHARD, DIPL.-ING., 6000 FRANKFURT, DE;IDSTEIN, HERMANN, 6227 OESTRICH, DE;BECKER, REINHOLD, DIPL.-ING. DR.;HULTZSCH, GUENTER, DR., 6200 WIESBADEN, DE
分类号	B05B5/08;B05B13/02;B05C9/00;B05C13/00;B05D1/04;H01L21/208;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/22	主分类号	B05B5/08
代理机构		代理人
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