| 发明名称 |
HOCHKONTRASTPHOTOLACKENTWICKLER. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3580443(D1) |
申请公布日期 |
1990.12.13 |
| 申请号 |
DE19853580443 |
申请日期 |
1985.09.23 |
| 申请人 |
MICROSI INC |
发明人 |
LEWIS, JAMES MARVIN;OWENS, ROBERT AUSTIN |
| 分类号 |
G03C1/72;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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